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讓滅孤室兩觸頭處于分開狀態,然后繞上磁控電圈,再把磁控線圈的兩個插頭插到磁控電流輸出的兩個紅黑插頭上。另外,高壓線與離子線分別接在真空泡的兩個觸頭上(動、觸頭不分)。
面板上所有的按鍵,若其上的小指示燈亮則表示按鍵有效,反之,則無效。若該鍵有效時,再按該鍵,則指示燈滅,該鍵處于無效狀態。
檢查接線正確后,方可開機。將儀器面板上的電源開關鍵按向“開”位置,數碼顯示屏的*即出現“P”字,經校驗(3.2步驟)正常后, 說明儀器運行正常,預熱5分鐘后便可進行測量.
執行該功能,校驗儀器及自檢功能。順序按【選擇鍵】、【校驗鍵】、【測量鍵】,使其有效。使用上下鍵調節檢查參數(管型顯示處)
調至1時,顯示值均0.000---9.000×10-6之間;
調至2時,顯示值均0.000---9.000×10-5之間;
調至3時,顯示值均0.000---9.000×10-4之間;
調至4時,充電回路接通,終將電容電壓控制在350V。
此時,顯示器逐筆點亮,六位一致不多筆畫少筆畫。檢查完畢需按【復位鍵】。
選擇參數6,啟動高壓:
這時,高壓指示燈亮,高壓產生,顯示器后四位顯示高壓值,單位是萬伏。做該項檢查時,注意高壓線位置,以免發生危險。
儀器內計算機對內部數據存儲器進行嚴格檢查,顯示器顯示出正在接受檢查的單元的地址,若出錯,則計算機停止檢查,顯示器的值即是出錯地址。單元編號以8000H—9FFFH,當接近9FFFH時,按住上下鍵,則檢查結束時,退出該項檢查,反之,則重復檢查。
般來說,電離電流(A)較真空度(Pa)小兩個數量級左右。
3.4 測量
的測量、計算、顯示等全過程。若此時按下打印鍵,則打印測量結果。
啟動高壓→測漏電電流→關閉高壓→接通充電開關→電壓到規定值→啟動磁控電流,測量漏電電流+電離電流,→扣除漏電電流→電流轉變成真空度值→顯示。若【校驗鍵】有效,則顯示電流值